C7: MEMS-Technologie für adaptive Sensoren

Technische Systeme, die mit ihrer Umgebung interagieren können, müssen ihre Dynamik an sich ändernde Umwelteinflüsse anpassen und eine Verbindung zu elektronischen Systemen ermöglichen. Eine technische Lösung sind mikroelektromechanische Systeme (MEMS). Das Ziel dieses Teilprojekts ist die Entwicklung eines parametrisch angeregten MEMS für akustische Sensoranwendungen. Für ein gezieltes Prozessdesign sollten wichtige dynamische Parameter der MEMS-Aktuatoren auch in Bezug auf relevante geometrische und technologische Parameter eingestellt werden. Zu diesem Zweck soll parallel zur Entwicklung des Cantilevers ein Simulationsmodell erstellt werden.